罗茨真空泵前级泵如何选择？

罗茨真空泵不能单独使用，必须配备前级泵以构成一个单元。前级真空泵用于降低罗茨真空泵的排放压力。由于罗茨真空泵的压缩比受到限制，因此前级真空泵的泵送速度为：重要的是，罗茨真空泵的压缩比随排气压力而变化。在高排气压力下，压缩比最大为3：1，压缩比在1到10 mbar（1mbar = 0.75 Torr）之间，最高为50：1，甚至更高。因此，前级泵的抽速是根据罗茨真空泵的长期工作压力范围选择的。例如，有一个使用罗茨真空泵装置进行泵送的系统，该系统需要在1 mbar的入口压力下以600升/秒的速度泵送泵，并需要长期工作。询问应选择多少个前级泵。首先假设使用30 l / s的前级泵时，压缩比K = 600：30 = 20，在K = 20时给出30 mbar的排气压力。由此可以得出结论，当30升/秒的前级泵时如果选择，则可以在低于1.5 mbar的入口压力下工作，但是当入口压力高于1.5 mbar时，则选择更大的前级泵。在此示例中，1 mbar的工作真空度小于1.5 mbar，因此30升/秒的前级泵可以满足上述真空系统的泵送要求。此外，应考虑到，如果正常工作时间比预泵送时间长得多，则可以选择更小的前级泵。如果真空室很大，并且需要快速预抽，则应使用它。较大的前级泵有时会配备较大的预泵，以提高设备效率。正常运行后将其停止，并使用较小的前级泵进行维护。这是为了节省电量。选择前级泵时，还必须考虑对罗茨真空泵单元的极限压力的要求。为了达到最高真空度（最高压力为1X10-3Pa〜1X10-2Pa），可以使用两级旋转叶片油封机械泵或两级滑阀机械泵作为前级泵。极限真空度在（1X10-2Pa〜1X10-1Pa）之间，前级泵可以使用单级油封机械泵，极限真空度在1333-1333Pa之间，为往复真空泵或液环真空泵可用作前泵。当使用往复式或液环粗真空泵作为罗茨真空泵的前级泵时，前级泵的抽速通常为罗茨真空泵的1 / 2-1 / 4，不能太大。压缩比将过大，从而导致罗茨真空泵的排气温度过高而无法正常工作。在选择前级泵时，我们还必须考虑泵送气体中是否含有腐蚀性介质，以及该介质中是否含有可冷凝气体（无论是大量还是微量）。如果包含腐蚀性气体，则不能使用油封机械泵。油封机械泵不适用于泵送含有大量可冷凝蒸汽的气体，否则它将很快乳化密封液并清除含有少量冷凝蒸汽的气体。带有气镇装置的设备也必须用作前级泵。为了在低入口压力（1〜100pa）下获得高抽速，可以将罗茨真空泵用作由另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级单元。抽速比一般在2〜5之间。